Puslaidininkinės litografijos (taip pat vadinamos fotolitografija) atveju mūsų akmenys yra silicio plokštelės, o mūsų raštai parašyti šviesai jautriu polimeru, vadinamu fotorezistu.
Ką reiškia fotolitografija?
Fotolitografija, dar vadinama optine litografija arba UV litografija, yra procesas, naudojamas mikrogamyboje, norint piešti dalis ant plonos plėvelės arba pagrindo pagrindo (taip pat vadinama plokštele).. … Šiuo metodu galima sukurti itin mažus, iki kelių dešimčių nanometrų dydžio, raštus.
Kodėl puslaidininkių gamyboje naudojama litografija?
Fotolitografija yra procesas, naudojamas mikrogamyboje geometriniams raštams perkelti į plėvelę ar substratą. Geometrinės puslaidininkių formos ir raštai sudaro sudėtingas struktūras, kurios leidžia priemaišoms, elektrinėms savybėms ir laidams užbaigti grandinę ir atlikti technologinį tikslą.
Koks fotolitografijos tikslas?
Fotolitografija yra vienas iš svarbiausių ir paprasčiausių mikrogamybos metodų ir naudojamas kuriant detalius medžiagos raštus. Taikant šį metodą, forma arba raštas gali būti išgraviruotas, šviesai jautrų polimerą selektyviai veikiant ultravioletine šviesa.
Kas yra puslaidininkinė litografijos įranga?
Puslaidininkinė litografijos įranga naudojama puslaidininkinio lusto ekspozicijos fazėjegamybos procesas. … Puslaidininkinė litografija naudoja projekcinį lęšį, kad sumažintų grandinės raštą, kuris užrašytas ant originalios plokštelės, vadinamos tinkleliu, ir atskleidžia raštą ant plokštelės.
