Fotolitografija dažniausiai naudojama kompiuterių lustams gaminti. Gaminant kompiuterių lustus, pagrindo medžiaga yra atspariu sluoksniu padengta silicio plokštelė. Šis procesas leidžia vienu metu sukurti šimtus lustų ant vienos silicio plokštelės.
Kaip atliekama fotolitografija?
Fotolitografija naudoja tris pagrindinius proceso etapus, kad perkeltų raštą iš kaukės į plokštelę: padenkite, išryškinkite, eksponuokite. Vėlesnio proceso metu raštas perkeliamas į plokštelės paviršinį sluoksnį. Kai kuriais atvejais rezisto raštas taip pat gali būti naudojamas nusodintos plonos plėvelės raštui apibrėžti.
Kodėl ji vadinama fotolitografija?
Puslaidininkinė litografija (fotolitografija) – Pagrindinis procesas . Integrinio grandyno (IC) gamybai reikalingi įvairūs fiziniai ir cheminiai procesai, atliekami puslaidininkiniame (pvz., silicio) substrate. … Žodis litografija kilęs iš graikų lithos, reiškiančio akmenis, ir graphia, reiškiančio rašyti.
Kodėl litografija svarbi?
Litografija yra geometrinių formų raštų perkėlimas kaukėje į ploną spinduliuotei jautrios medžiagos sluoksnį (vadinamą rezistu), dengiantį puslaidininkinės plokštelės paviršių. 5.1 paveiksle schematiškai pavaizduotas litografinis procesas, naudojamas gaminant IC.
Kuris yra plačiausiai naudojamas litografijos metoduose?
Optinėlitografija yra fotonų pagrindu sukurta technika, kurią sudaro vaizdo projektavimas į šviesai jautrią emulsiją (fotorezistą), padengtą ant pagrindo, pavyzdžiui, silicio plokštelės. Tai plačiausiai naudojamas litografijos procesas puslaidininkių pramonėje didelės apimties nanoelektronikos gamyboje.
