Fotolitografija dažniausiai naudojama kompiuterių lustams gaminti. Gaminant kompiuterių lustus, pagrindo medžiaga yra atspariu sluoksniu padengta silicio plokštelė. Šis procesas leidžia vienu metu sukurti šimtus lustų ant vienos silicio plokštelės.
Kaip atliekama fotolitografija?
Fotolitografija naudoja tris pagrindinius proceso etapus, kad perkeltų raštą iš kaukės į plokštelę: padenkite, išryškinkite, eksponuokite. Vėlesnio proceso metu raštas perkeliamas į plokštelės paviršinį sluoksnį. Kai kuriais atvejais rezisto raštas taip pat gali būti naudojamas nusodintos plonos plėvelės raštui apibrėžti.
Kas yra fotolitografija ir kaip ji veikia?
Fotolitografija yra piešimo procesas, kurio metu šviesai jautrus polimeras selektyviai veikiamas šviesa per kaukę, paliekant latentinį vaizdą polimere, kurį vėliau galima selektyviai ištirpinti, kad būtų gautas raštas. prieiga prie pagrindinio substrato.
Kas yra fotolitografija ir kaip ji naudojama tranzistoriams įdiegti?
Jis naudoja šviesą geometriniam raštui perkelti iš fotokaukės (taip pat vadinamos optine kauke) į šviesai jautrų (tai yra, šviesai jautrų) cheminį fotorezistą ant pagrindo. … Tai leidžia tiksliai valdyti sukuriamų objektų formą ir dydį ir gali ekonomiškai sukurti raštus visame paviršiuje.
Kodėl ji vadinama fotolitografija?
Puslaidininkinė litografija(Fotolitografija) – Pagrindinis procesas . Integrinio grandyno (IC) gamybai reikalingi įvairūs fiziniai ir cheminiai procesai, atliekami puslaidininkiniame (pvz., silicio) substrate. … Žodis litografija kilęs iš graikų lithos, reiškiančio akmenis, ir graphia, reiškiančio rašyti.
