Nesubalansuotame magnetrono purškimo metu plazma taip pat ištraukiama į substratą, o argono jonai taip pat bombarduoja augančią ploną plėvelę. … Elektronų buvimas aplink substratą lemia neutralių dujų atomų jonizaciją ir plazmos prasiskverbimą į šią sritį.
Kodėl magnetronas purškia?
Magnetrono dulkinimui naudojamas uždaras magnetinis laukas, kad gaudytų elektronus, padidindamas pradinio jonizacijos proceso efektyvumą ir sukuriant plazmą esant mažesniam slėgiui, sumažinant foninių dujų įtraukimą į augantį plėvelės ir energijos nuostoliai išpuršktame atome dėl dujų susidūrimų.
Ką galima pritaikyti magnetroniniam purškimui?
5 Magnetroninis purškimas. Magnetroninis purškimas yra didelio greičio vakuuminio dengimo metodas, leidžiantis nusodinti daugelio tipų medžiagas, įskaitant metalą ir keramiką, ant kuo įvairesnių tipų substrato medžiagų, naudojant specialiai suformuotą magnetą. laukas pritaikytas diodo purškimo taikiniui.
Kas yra uždarojo lauko nesubalansuotas magnetroninis dulkinimas?
Uždaro lauko nesubalansuoto magnetinio purškimo jonų dengimo sistema, kurią sukūrė Teer Coatings Ltd., sukuria optimizuotas nusodinimo sąlygas, leidžiančias nusodinti tankias, kietas dangas su puikiu sukibimu. CFUBMSIP susitarimui taikomi patentai, suteikti Teer Coatings Ltd.
Kas yra nesubalansuotas magnetronas?
Magnetronai paprastai klasifikuojami kaip „subalansuoti“arba „nesubalansuoti“. … Jei nulinis taškas yra arti tikslinio paviršiaus, elektronai gali lengviau pabėgti ir magnetronas yra nesubalansuotas. Nesubalansuotas dizainas gali sukelti didelį jonų bombardavimą plona plėvele tuo pačiu metu, kai nusodinama.
