Fotolitografija yra procesas, naudojamas mikrogamyboje geometriniams raštams perkelti į plėvelę ar substratą. Geometrinės puslaidininkių formos ir raštai sudaro sudėtingas struktūras, kurios leidžia priemaišoms, elektrinėms savybėms ir laidams užbaigti grandinę ir atlikti technologinį tikslą.
Kas yra fotolitografijos procesas?
Fotolitografija, dar vadinama optine litografija arba UV litografija, yra procesas, naudojamas mikrogamyboje dalims piešti ant plonos plėvelės arba didžiosios pagrindo dalies (taip pat vadinama plokštele). … Sudėtingose integrinėse grandinėse CMOS plokštelė fotolitografinį ciklą gali praeiti net 50 kartų.
Koks yra mikrogamybos procesas?
Mikrogamyba yra miniatiūrinių mikrometrinių svarstyklių ir mažesnių konstrukcijų gamybos procesas. … Pagrindinės mikrogamybos sąvokos ir principai yra mikrolitografija, dopingas, plonos plėvelės, ėsdinimas, klijavimas ir poliravimas.
Kas yra litografijos procesas puslaidininkiuose?
Puslaidininkinė litografijos sistema atlieka procesą, kurio metu labai sudėtingi grandinės modeliai, nupiešti ant fotokaukės, pagamintos iš didelės stiklo plokštės, sumažinami naudojant itin aukštos kokybės lęšius ir apšviečiami ant silicio pagrindo, žinomo kaip vaflis. …
Kas yra litografija gamybos procese?
Litografija yrageometrinių formų raštų perkėlimas kaukėje į ploną spinduliuotei jautrios medžiagos sluoksnį (vadinamas rezistu), dengiantis puslaidininkinės plokštelės paviršių. 5.1 paveiksle schematiškai pavaizduotas litografinis procesas, naudojamas gaminant IC.
